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目前,TFT-LCD的清理工藝中,一般采用的清洗方法有超紫外清洗,滾筒毛刷清洗,泡沫噴射及純凈水噴射清洗等。
在TFT-LCD生產(chǎn)過程中,其基板表面殘留很多細碎的顆粒,如有玻璃碎屑,灰塵,微小有機物或纖維等,如果不能及時有效地清除這些顆粒,后果將非常嚴重,將會產(chǎn)生如金屬層之間短路,大面積脫落或者殘留等各種不良現(xiàn)象,從而影響產(chǎn)品的各種電學性能。所以,TFT-LCD生產(chǎn)過程中清洗工藝是極其重要的一個環(huán)節(jié)。
其中清洗法對于粒徑大于3μm的顆粒的清洗效果很好,滾筒毛刷通過緊貼玻璃基板表面高速旋轉(zhuǎn),可以有效去除粘附或者沉積在金屬和非金屬膜層的大顆粒。因此滾筒毛刷質(zhì)量的關鍵將影響玻璃基板的洗凈率,一般選用雙鋼帶螺旋纏繞式毛刷,刷毛密度要高,這樣才能提高洗凈率。
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